濺射靶材是通過離子轟擊靶材表面，靶材的原子被擊出，此現象稱為濺射。濺射靶材在濺射過程中產生的原子沉積在基體表面成膜被稱為濺射鍍膜，然而在濺射鍍膜時膜層經常會有不少問題的出現，下面就跟著巨偉鈦業一起來看看濺射鍍膜膜層常見問題及解決方法吧。

一、膜層常見問題

1、膜層灰暗

膜層灰暗或發灰問題的產生原因有以下幾方面：

（1）真空度低于0.67Pa。

（2）氬氣純度低于99.9%。

（3）充氣系統漏氣。

（4）底漆未充分固化。

（5）鍍件放氣量太大。

2、膜層光澤暗淡

膜層表面光澤暗淡的產生原因有以下幾方面：

（1）底漆固化不良或變質。

（2）濺射時間太長。

（3）濺射成膜速度太快。

3、膜層色澤不均

膜層色澤不均的產生原因有以下幾方面：

（1）底漆噴涂得不均勻。

（2）膜層太薄。

（3）夾具設計不合理。

（4）鍍件的幾何形狀太復雜。

4、膜層發皺龜裂　　

膜層發皺龜裂的產生原因有以下幾方面：

（1）底漆噴涂得太厚。

（2）涂料的粘度太高。

（3）蒸發速度太快。

（4）膜層太厚。

（5）鍍件溫度太高。

5、膜層表面有水跡

膜層表面有水跡、指紋及灰粒的產生原因有以下幾方面：

（1）鍍件清洗后未充分干燥。

（2）鍍件表面濺上水珠或唾液。

（3）涂底漆后手接觸過鍍件，表面留下指紋。

（4）涂料中有顆粒物。

（5）靜電除塵失效或噴涂和固化環境中有顆粒灰塵。

6、膜層附著力不良

膜層附著力不良容易導致膜層脫落，此情況的產生原因有以下幾方面：

（1）底漆未充分固化。

（2）鍍件除油脫脂不徹底。

（3）真空室內不清潔。

（4）夾具不清潔。

（5）底涂料選用不當。

（6）濺射工藝條件控制不當。

（7）膜材太厚也容易脫落。

二、膜層問題解決方法

1、膜層灰暗

（1）將真空度提高到0.13-0.4Pa。

（2）換用純度為99.99%的氬氣。

（3）檢查充氣系統，排除漏氣現象。

（4）適當延長底漆的固化時間。

（5）進行干燥和封孔處理。　　

2、膜層光澤暗淡

（1）適當延長底漆的固化時間或更換底漆。

（2）適當縮短濺射時間。

（3）適當降低濺射電流或電壓。

3、膜層色澤不均

（1）改進底漆的施涂方法。

（2）適當提高濺射速度或延長濺射時間。

（3）改進夾具設計。

（4）適當提高鍍件的旋轉速度。

4、膜層發皺龜裂

（1）控制在7- HIOtan厚 度范圍內。

（2）適當降低涂料的粘度。

（3）適當減慢蒸發速度。

（4）適當縮短濺射時間

（5）適當縮短對鍍件的加溫時間。

5、膜層表面有水跡

（1）加強鍍前處理。

（2）加強文明生產，操作者應帶口罩。

（3）嚴禁用手接觸鍍件表面。

（4）過濾涂料或更換涂料。

（5）更換除塵器，并保持工作環境的清潔。

6、膜層附著力不良

（1）延長底漆的固化時間。

（2）加強鍍前處理

（3）洗真空室，值得注意的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴禁用手或不干凈物體與磁控源接觸，以保證磁控源具有較高的清潔度。

（4）清洗夾具。

（5）更換涂料。

（6）改進濺射工藝條件。

（7）如果是金屬襯底，加熱襯底可以改善脫落情況。

上述是關于濺射鍍膜膜層常見問題及解決方法的介紹，希望能對大家有所幫助。通過上面對問題的分析，許多問題都是因為操作工藝不合理或細節處理不到位，或是清潔不干凈等造成的，所以在生產靶材時一定要注意這些問題，避免問題出現而又導致返工。寶雞巨偉鈦業有限公司是一家研發生產鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶、鈦鋁靶、鈦絲、鈦加工件、鈦鍛件等金屬材料為主的高新技術企業，十余年專注于濺射靶材、鍍膜靶材、平面多弧靶材研發、生產，靶材組織結構均勻、濺射成膜性能優異，如果您對靶材有疑問或需要，歡迎聯系巨偉鈦業。

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